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NTC Wafer 晶圆有线测温系统
NTC Wafer 晶圆温度监测系统，提供高精度的、可靠的晶圆温度测量和监控方式，提高工艺设备性能、质量和产量。
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商品描述
NTC Wafer 晶圆温度监测系统，提供高精度的、可靠的晶圆温度测量和监控方式，提高工艺设备性能、质量和产量。
| 技术指标 |
名称 | 指标 |
标称电阻 | 10kΩ,5KΩ@25℃ |
温度范围（℃） | 0-100℃ |
测温精度（mK） | 可达±0.01℃，±0.001℃ |
重复精度（mK） | 可达＜0.01℃，＜0.002℃ |
线制 | 4线 |
晶圆尺寸 | 4、6、8、12英寸 |
测温点数（个） | 可选择 |
点位分布 | 平均分布或按用户要求 |
厚度（mm） | 0.725 |
真空馈通带 | 聚酰亚胺扁平电缆，大气压可达10-7Torr（长度由客户指定） |
引线长度L1 | 2、3、5、10（m),可按场景需求 |
引线端子 | DB接头或智能航插 |
校准 | 提供智测电子校准证书 |
| ZCDAQ TEMP准确收集和分析晶圆的温度数据，并可提供多点温度测量，用图表将温度分布及变化数据可视化，提供硬件和软件嵌入式解决方案。 |
| 技术指标 |
名称 | 指标 |
测温范围（℃） | 0-100℃ |
测温精度（mK） | 可达±0.01℃，±0.001℃ |
重复精度（mK） | 可达＜0.01℃，＜0.002℃ |
测量硬件分辨率（mK） | 0.001℃，0.0001℃ |
测量通道数量（个） | 8、18、32、48等可选 |
采样频率 | 1Hz |
激励电流（uA） | ≤10 |
运行/故障指示灯 | 是 |
单通道独立控制 | 是 |
输入 | 4线制10KΩ热敏电阻 |
通讯接口 | LAN/RS485/USB |
通讯协议 | Modbus RTU |
测温探头接口 | DB或航空插头 |
测温采集记录软件 | ZCDAQ Wafer，采集、记录、分析、热图 |
供电电源 | AC220V/50Hz |
上一个：
无
咨询热线：400-1898661
