原位光罩温度测量系统VTMS，用于电子束光罩写入的温度监测、验证，因电子束在完全写入光罩在较长时段内需要极高的温度稳定性。VTMS可连续不间断收集温度数据，从而为确保光罩系统热稳定性提供所需的数据。