测温范围：-40℃至250℃

电阻器：薄膜铂

电阻：0°C时标称电阻值为1000 Ω

精度：±0.1℃

测温点数：1~68个

传感器引线：可定制

可提供绝缘：聚酰亚胺涂覆的铜引线

测温探头接口：DB37

晶圆材质：硅片，蓝宝石，碳化硅等（基材形状和尺寸可定制）

晶圆尺寸：50mm，100mm，150mm，200mm，300mm

真空贯通带：聚酰亚胺扁平电缆，大气压可达10-7Torr（长度由客户指定）